Получение микроканалов в стекле для микрофлюидных чипов с помощью фемтосекундной лазерной абляции

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

12 - Лазерные технологии в машиностроении

Третий (специалитет)

Мельников Дмитрий Михайлович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э.Баумана, кафедра "Лазерные технологии в машиностроении")

Изучено влияние параметров фемтосекундного лазерного излучения на процесс формирования микрофлюидных каналов в силикатном стекле. Экспериментально определено пороговое значение плотности энергии, необходимое для абляции материала, и установлены зависимости геометрических характеристик каналов от параметров обработки. Показано: глубина каналов достигает насыщения при определенной плотности энергии, а увеличение количества проходов лазера снижает порог абляции. Метод фемтосекундной лазерной абляции подтвердил свою эффективность для изготовления микрофлюидных структур с контролируемой геометрией.