Методы подготовки поверхности кремниевых полупроводниковых пластин для диффузионной сварки

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

7 - Технологии сварки и диагностики

Шестой (специалитет)

Михеев Роман Сергеевич (Доктор наук, Профессор, МГТУ им. Н. Э. Баумана, кафедра "Сварка, диагностика и специальная робототехника")

Рассмотрено влияние методов жидкостной химической подготовки на характеристики поверхности монокристаллического кремния, определяющие качество диффузионной сварки. Проанализированы физико-химические механизмы формирования соединения, выявлены основные требования к поверхности:шероховатость, чистота поверхности и гидрофильность, обеспечиваемая силанольными группами Si-OH. Экспериментально исследовано воздействие комбинаций растворов на чистоту, смачиваемость и шероховатость. Выбрана методика обработки для создания высокопрочных и герметичных соединений в микроэлектромеханических системах.