Исследование характеристик ультратонких пленок MoS2 для наноэлектроники

Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)

11 - Электронные технологии в машиностроении

Первый (магистратура)

Беликов Андрей Иванович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")

Дисульфид молибдена является одним из наиболее перспективных материалов для наноэлектронных и оптоэлектронных устройств. В настоящее время пленки дисульфида молибдена используют в прототипах таких устройств, как ячейки флеш-памяти, полевые транзисторы, фотодетекторы. В работе приведены результаты АСМ-исследований морфологических особенностей ультратонких плёнок MoS2, полученных методом магнетронного нанесения при различных условиях осаждения. На основе результатов проведенных спектрофотометрических исследований определены значения оптической ширины запрещенной зоны образцов плёнок.

Арестакесян С. К., Ким М. Е. Исследование характеристик ультратонких пленок MoS2 для наноэлектроники. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3324 (дата обращения: 05.10.2022)