Доклады и статьи конференции

← Назад | Перейти в архив

Карточка работы #3324

Название
Исследование характеристик ультратонких пленок MoS2 для наноэлектроники
Год
2022
Организация
Московский Государственный Технический Университет им. Н.Э.Баумана (МГТУ им. Н.Э.Баумана)
Секция
11 - Электронные технологии в машиностроении
Авторы
Арестакесян Сирануш Кареновна
Ким Максим Евгеньевич
Курс обучения
Первый (магистратура)
Научный руководитель
Беликов Андрей Иванович (Кандидат наук, Доцент, МГТУ им. Н.Э. Баумана, кафедра "Электронные технологии в машиностроении")
Аннотация
Дисульфид молибдена является одним из наиболее перспективных материалов для наноэлектронных и оптоэлектронных устройств. В настоящее время пленки дисульфида молибдена используют в прототипах таких устройств, как ячейки флеш-памяти, полевые транзисторы, фотодетекторы. В работе приведены результаты АСМ-исследований морфологических особенностей ультратонких плёнок MoS2, полученных методом магнетронного нанесения при различных условиях осаждения. На основе результатов проведенных спектрофотометрических исследований определены значения оптической ширины запрещенной зоны образцов плёнок.
Тезисы
Библиографическая
ссылка
Арестакесян С. К., Ким М. Е. Исследование характеристик ультратонких пленок MoS2 для наноэлектроники. [Электронный ресурс] // Всероссийская научно-техническая конференция «Студенческая научная весна: Машиностроительные технологии»: материалы конференции, 4 – 8 апреля, 2022, Москва, МГТУ им. Н.Э.Баумана. – М.: ООО «КванторФорм», 2022.– URL: studvesna.ru?go=articles&id=3324 (дата обращения: 05.10.2022)
Если Вы обнаружили ошибку - пожалуйста, напишите нам
Сопредседатель оргкомитета конференции
Гладков Ю.А.